книги / Оптические методы контроля интегральных микросхем
..pdf94. Гуревич В. 3., Крупнцкнй Э. И. Модуляторы света для ввода информации в устройства оптической обработки.— Зарубеж ная радиоэлектроника, 1972, № 12, с. 49—63.
95. Косарев А. И., Соколов В. К. Пространственно-временные мо дуляторы света: Обзор. — Зарубежная радиоэлектроника, 1974,
№8, с. 59—80.
96.Крымко М. М., Пресс Ф. П. Исследование связи между де фектами фотолитографии и выходом годных планарных струк тур.— Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые при боры, 1972, выл. 7, с. 111—117.
97.Пат. 3909602 (США), МКИ GO 1N21/32.
98.Харкевич А. А. Избранные труды в 3-х т. Т. 3. Теория инфор
99. |
мации: Опознание образов. — М.: Наука, |
1973.—524 с. |
|||
Fehrs D. L., Munro D. F., Cuthbert J. D., Yanochko G. S. Auto |
|||||
|
matic mask inspection: a new |
problem |
for |
the |
laser. — Opt. |
100. |
Spectra, 1975, v. 9, № 7, p. 29. |
algorithms |
for |
automatic mask |
|
Munro D. F. Defect-detection |
|||||
101. |
inspection. — J. Opt. Soc. Amer., 1974, v. 64, |
№ 10, p. 1402. |
|||
Knox J. D., Goedertier P. V., |
Fairbanks D., Caprari F. Inspec |
||||
|
ting IC masks with a differential laser scanning inspection sys |
||||
|
tem.— Solid State Technology, |
1977, v. 20, № 5, |
p. 48. |
102.Чуриловский В. H. Теория оптических приборов. — М.: Маши ностроение, 1966.—257 с.
103.Пат. 3663085 (США). МКИ G01N21/32, G01N21/60.
104.Пат. 3795452 (США). МКИ G01N21/32, G01N21/16.
105. Dammonn |
Н., Klotz |
Е. Generation of faultless multipinhole |
masks by |
means of |
spatial filtering. — Optics Commun., 1975, |
v.19, № 3, p. 2G8—270.
106.Пат. 3743423 (США). МКИ G01N21/32, G02B27/38.
107.Пат. 2441336 (ФРГ). МКИ G01M1/00, Н01В1/32.
108.Bruning J. Н., Feldman М., Kinsel Т. S., Sitting Е. К*, Town
send R. L. An automated mask |
inspection system. — AMIS.— |
IEEE Trans., 1975, v. 12, № 8, p. |
1880—1883. |
109.Пат. 3790280 (США). МКИ G02N27/38, G01N21/32.
110.Пат. 108620 (ГДР). МКИ G01N21/32, G01F15/46.
111.Войтович М. А., Гуревич В. Г., Новиков В. М. и др. Обнару жение дефектов фотошаблонов методом пространственной фильтрации. — Газовые лазеры. Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1974, вып. 1, с. 69.
112.Акаев А. А., Майоров С. А. Когерентные оптические вычисли
тельные машины. — Л.: Машиностроение, 1977.—440 с.
ИЗ. Телешов Б. В., Азин С. Н. Контроль дефектов периодических структур с помощью многоканальной системы пространствен ной фильтрации. — Электронная техника. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование, 1977, вып. 3 (82),
с. 140—14с).
114.Крупников Г. П. Зарубежные серийно выпускаемые телевизи онные анализаторы изображений: Обзор. — В кн.: Автоматиза
ция анализа цитологических препаратов. — Рига: Зннатне, 1975, с. 36—54.
115. Textur — Analyse — System. — Проспект фирмы Leitz Wetzlar, ФРГ, 1977.
116.Видеотерминал ВТ-4001.—Проспект ИЭВТ АНЛатв. ССР, 1975.
117.Jesse A. Quantitative image analysis in microscopy. — Micros cope, 1971, v. 19, № 2, p. 21.
131
118. Giliand D. W., Smithhand D. j., Wells A. Area sizing and pat tern recognition on the Quantimet-720. — Microscope, 1972, v. 20, № 5, p. 37.
119. Quantimet-720. — Проспект фирмы Imanco. .Великобритания, 1970.
120.Quantimet-720. System 10-20. Image Analysers. — Проспект фир мы Imanco. — Великобритания, 1975.
121.Image amendment with the Quantimet-720. — Проспект фирмы
Imanco. — Великобритания, 1975.
122. Image Enhancement/Analysis System. — Проспект фирмы STC/I2S. — США, 1978.
123.Cole M. Instrument errors in quantitative image analysis. — Microscope, .1972, v. 20, № 2, p. 183.
124.Sturges G. L., Braggins D. W. Performance criteria for image
analysis equipment. — Microscope, 19712, v. 20, № 1, p. 275.
125.Либенсон M. И., Хесин А. Я., Янсон Б. А. Автоматизация рас познавания телевизионных изображений.—М.: Энергия, 1975.— 160 с.
126.Блок А. С., Зюзин О. М., Крупицкий Э. И. и др. Гибридные оптико-электронные системы распознавания изображении. — Автометрия, 1974, Mb 1, с. 36—46.
127.Нестерихин Ю. С., Пушной Б. М. О системе автоматической
обработки изображений. — Автометрия, 1977, № 3, с. 6—12.
128.Браилко Л. А., Гришин М. П., Иванов А. М. и др. Цифровой автоматический микроденситометр с управлением от ЭВМ.— Оптико-механическая пром-сть, 1976, № 4, с. 34—37.
129.Варганов Н. О., Горюнов Н. Н., Лонский И- И. Диагностика состояния поверхности полупроводниковых планарных струк тур.— Техника средств связи. Сер. Техника радиосвязи, 1977, вып. 3, с. 167—176.
130.Голография: Методы и аппаратура/ В. М. Гинзбург, Б. М. Сте
панов, Е. А. Антонов и др.; |
Под |
ред. В. М. Гинзбург и |
Б. М. Степанова. — М.: Сов. |
радио, |
1974.—376 с. |
131. Левин М. Методы выделения признаков. — ТИИЭР, 1969, т. 64,
№ 8, с. 51—69.
132.Дубицкий Л. Г., Розиньков Н. С. Применение Фурье-голограм- мы для определения степени дефектности сварных и паяных
швов корпусов интегральных схем. — Дефектоскопия, 1978, №5,
с. 87—90.
133.Гришин М. П., Иванов Е. А., Поддубный Е. В. и др. Некото рые методы обработки изображений в устройствах распозна вания образов с использованием передающей телевизионной ка меры.— Сборник научных трудов по проблемам микроэлектро ники/ МИЭТ.— М., 1976, вып. 23, с. 36—39.
134.Гришин М. П., Лягина Т. И., Поддубный Е. В. и др. Матема тическое описание и алгоритмы распознавания дефектов ИС.— Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники/
-МИЭТ. — М., 1976, вып. 29, с. 46—56.
135.Пат. 3805239 (США). МКИ G01N27/86, G01N21/32.
136.Gillons J., Soames М. R., Knowles W. R. Description of the Quantimet-360: Inclusion and grain size classifier. — Microscope, 1972, v. 20, № 2, p. 1.
137.Автомат фирмы Hitachi для считывания изображений. — Элек троника, 1973, т. 46, № 9, с. 5.
132
138. |
Мини-ЭВМ, управляющая анализатором образов. — Электро |
|
139. |
ника, |
1975, т. 48, № 9, с. 4—5. |
1225 |
System: Проспект фирмы International Imaging System, |
США, 1975.
140.EVR 4100 е. САМАС. A modular instrumentation system for data handling. Revised description and specification. ESONE Committee, 1972.
141.EVR 4600 e. CAMAC. Organisation of multicrate system spe
cification of the brauch highway and CAMAC crate controller type A. ESONE Committee, 1972.
142. EVR 3100 e. CAMAC. A modular instrumentation system for data handling. Specification of amplitude analogue signals. ESONE Committee, 1972.
143. Нестерихин 10. E. Оптико-электрониые системы и автоматиза ция исследований. — Автометрия, № 5, 1977, с. 7—12.
144.Василенко Г. И. Голографическое опознавание образов. — М.: Сов. радио, 1977.—328 с.
145.Строук Дж. Оптическая и цифровая обработка информации и
ееприменение. — Автометрия, 1977, № 5, с. 18—30.
146. Отчет Комитета |
по изучению проблемы распознавания. — Дзё- |
хо сёри, 1975, т. |
16, № 8, с. 720—736. |
147.Эндрюс Г. Вычислительные методы при обработке изображе ний: Пер. с англ./ Пер. В. Д. Света и С. Д. Света. — М.: Энер гия, 1977.—160 с.
148.Bremerman Н. J. Pattern recognition: functionals and entropy.— IEEE Trans., 1968, v. BME-15, № 3, p. 201—207.
149.Wilks S. S. Matematical statistics. — New York: Willey, 1962.
150.Rao C. R. The use and interpretation of principle components
analysis in applied research. — Indian J. Stat., 1964, v. A26.
151.Watanabe S. Karhunen-Loeve expansion and factor analysis: theoretical remarcs and application. — Proc. Conf. Information Theory, 4-th Praque, 1965.
152.Raviv J., Streeter D. N. Lineas methods for biological DATA processing. — IBM Res. Rep. RD-1577, 1965.
153.Me Laughlin J. A., Raviv J. N-th order autocorrelations in pat
tern recognition. — Inform. Control, 1968, № 2, p. 121—142.
154.Algazi V. R., Saurison D. J. On the optimality on the harhuenLoeve expansions GIT, IT-15, 1969, № 3, p. 319.
155.Boulton P. I. P. Smearing techniques in pattern recognition. Ph. D. Thesis University Toronto, 1966.
156.Логинов В. П. Функции Уолша и области их применения: Обзор. — Зарубежная радиоэлектроника, 1973, № 4, с. 8—23.
157.Передача и обработка информации голографическими метода
ми/ С. Б. Гуревич, В. Б. Константинов, В. К. Соколов, и др.; Под ред. С. Б. Гуревича. — М.: Сов. радио, 1978.—304 с.
158.Галушкин А. И. Синтез многослойных систем распознавания образов.— М.: Энергия, 1974.—367 с.
159.Розенфельд А. Распознавание и обработка изображений с по мощью вычислительных машин/ Пер. с англ. И. Б. Гуревича,
В.М. Рудакова, Л. П. Ярославского; Под ред. Д. С. Лебе дева.— М.: Мир, 1972.—232 с.
160.Понсен. Использование преобразования Адамара для кодиро вания и сжатия сигналов изображения. — Зарубежная радио электроника, 1972, № 3, с. 18—26.
161.Быков Р. Е., Коркунов Ю. Ф. Телевидение в биологии и меди цине. — Л.: Энергия, 1968. — 224 с.
133
О Г Л А В Л Е Н И Й
|
|
|
|
|
|
|
|
Стр. |
Предисловие |
. |
|
|
|
. |
|
3 |
|
1. Состояние и |
перспективы |
совершенствования оптических |
5 |
|||||
методов |
контроля |
интегральных |
микросхем |
. . . |
||||
1.1. Проблема повышения эффективности оптических мето |
5 |
|||||||
дов |
контроля |
процесса................................................................. |
обработки оптической ин |
|||||
1.2. Характеристика |
7 |
|||||||
формации |
направления................................................................................. |
развития оптических |
методов |
|||||
1.3. Основные |
И |
|||||||
контроля |
. |
|
. |
|
. . . |
. |
||
2. Дефекты интегральных микросхем |
и критерии их отбраковки |
21 |
||||||
2.1. Отказы интегральных микросхем, возникающие при их |
21 |
|||||||
испытаниях и |
эксплуатации........................................... |
готовых |
||||||
2.2. Роль |
оптических методов |
в |
оценке качества |
23 |
||||
изделий |
........................... |
|
|
|
|
|
2.3.Критерии отбраковки ИС по результатам оптического контроля . ........................................................ 28
2.1.Пути дальнейшего повышения информативности мето дов и совершенствования документов по оптическому
контролю |
И С .......................... |
. |
. 3 8 |
3. Совершенствование средств оптического контроля |
41 |
||
3.1. Классификация и критерии применимости средств опти |
|||
ческого |
контроля ............................................................. |
|
41 |
3.2. Микроскопы: технические характеристики, области при |
|||
менения, |
перспективы совершенствования . . . . |
42 |
3.3.Оптические проекционные устройства: технические ха рактеристики, возможности применения при контроле
внешнего вида |
итопологии ИС . |
. |
. . . . 4 8 |
|
3.4. Устройства оптической фильтрации: особенности опти |
58 |
|||
ческой схемы и |
область применения |
. |
||
4. Методы и устройства для автоматического распознавания |
65 |
|||
дефектов . . . . |
. . |
. . |
. |
|
4.1. Сложность автоматического оптического контроля ка |
65 |
|||
чества фотошаблонов, кристаллов и сварных соединений |
4.2.Устройства автоматического анализа изображений: технические характеристики и перспективы применения 71
4.3.Алгоритмы распознавания некоторых типов дефектов
кристаллов |
и |
фотошаблонов . . |
. . . |
85 |
Заключение |
. |
|
. 9 8 |
|
П р и л о ж е н и е ! |
. |
100 |
||
П р и л о ж е н и е |
2 |
. |
122 |
|
Список литературы |
. |
126 |
134
ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
Состояние и перспективы совершенствования
Юрий Самсонович Вартанян Никита Сергеевич Розиньков Лев Григорьевич Дубицкий Евгений Васильевич Поддубный Дмитрий Иванович Закс
Редактор И. М. В о л к о в а Художественный редактор Н. С. Ше и н Технический редактор Г. И. К о л о с о в а Корректор Т. Г. З а х а р о в а
ИБ № 124
Сдано в набор 09.02.82. |
Подписано в печать 09.08.82. |
Т-13542 |
|||
Формат 84ХЮ8/ з2 |
|
Бумага кн.-журн. |
Гарнитура литературная |
||
Печать высокая |
Уел. |
неч. л. 7.14 |
Уел. |
кр.-отт. 7,35 |
Уч.-нзд. л. 7,44 |
Тираж 7000 экз. |
|
Изд. № 19674 |
|
Зак. № 32 |
Цена 35 к. |
Издательство «Радио и связь». 101000 Москва, Главпочтамт, а/я 693
Московская типография № 10 Союзиолиграфпрома при Государствен ном комитете СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли. 113114, Москва, М-114, Шлюзовая наб„ Ю