Список использованных источников
[1] Телеш, Е. В. Т31
Технологические модули и устройства
программно-управляемого оборудования
для производства изделий электроники.
Лабораторный практикум: пособие / Е. В.
Телеш, Я. А. Соловьев. – Минск: БГУИР,
2019. – 75 с.
[2] Кварцевая камера
для БТО [Электронный ресурс]. – Электронные
данные. Режим доступа:
https://poznayka.org/s26058t1.html
[3] Телеш Е.В. Конспект
лекций по дисциплине «Специальное
техническое оснащение» [Электронный
ресурс]. – Электронные данные. Режим
доступа: https://studfile.net/preview/3676414/
[4] Принцип действия
термопарного вакуумметра
[Электронный ресурс]. – Электронные
данные. Режим доступа:
https://vacym.com/metody-izmereniia-vakuuma-vakuummetry/
[5] Ионные насосы
[Электронный ресурс]. – Электронные
данные. Режим доступа:
https://dic.academic.ru/dic.nsf/dic_biology/2102/%D0%98%D0%9E%D0%9D%D0%9D%D0%AB%D0%95
[6] Виды
ионных насосов [Электронный
ресурс]. – Электронные данные. Режим
доступа:
https://studfile.net/preview/2548468/page:2/
10
