- •ВВЕДЕНИЕ
- •ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СИНТЕЗА МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ АЛКОКСИДОВ КРЕМНИЯ И МЕТАЛЛОВ С ЛИГИРУЮЩИМИ ДОБАВКАМИ (ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ)
- •1.1. Методы синтеза материалов на основе ZrO2 и SiO2. Достоинства и недостатки
- •1.2.1. Монолитные материалы, полученные по золь-гель технологии на основе аморфного диоксида циркония
- •1.2.2. Тонкие кремнеземные пленки, полученные по золь-гель технологии
- •1.3 Использование в золь-гель синтезе неорганических соединений в качестве легирующих добавок
- •1.4. Важнейшие приемы золь-гель технологии: ультразвуковая обработка и режимы термообработки
- •1.5. Применение материалов на основе диоксида циркония и силикатных покрытий, содержащих легирующие добавки
- •Заключение по главе 1
- •2.1. Золь-гель синтез гелей на основе диоксида циркония с использованием в качестве прекурсора пропилата циркония (IV)
- •2.1.1. Золь-гель синтез порошков на основе диоксида циркония с использованием в качестве прекурсора пропилата циркония (IV)
- •2.1.2. Получение стеклообразных гелей «циркониевых стекол»
- •2.1.3. Получение аэрогелей на основе ZrO2 золь-гель методом
- •2.2. Синтез кремнезолей, содержащих соединения платины и палладия
- •2.2.1. Формирование силикатных покрытий, содержащих соединения платины и палладия
- •ГЛАВА 3. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ МАТЕРИАЛОВ
- •3.1. Феноменологические наблюдения
- •3.1.1. Контроль процесса гелеобразования
- •3.1.2. Контроль состояния поверхности покрытий
- •3.2. Микроскопия
- •3.2.1. Оптическая микроскопия
- •3.2.2. Растровая электронная микроскопия (РЭМ)
- •3.2.3. Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ)
- •3.2.4. Атомно-силовая микроскопия (АСМ)
- •3.3. Термический анализ
- •3.4. Спектроскопия
- •3.4.1. Спектроскопия
- •3.4.2. Рамановская спектроскопия
- •3.4.3. Метод спектрофотометрии
- •3.5. Рентгенофазовый и рентгенографический анализ
- •3.6. Метод низкотемпературной адсорбции газов
- •3.7. Спектральная эллипсометрия
- •3.8. Томография
- •3.9. Методы малоугового рассеяния
- •3.9.1. Метод малоуглового рассеяния нейтронов (МУРН) и ультрамалоуглового рассеяния нейтронов (УМУРН)
- •3.9.2. Метод малоуглового рассеяния рентгеновского излучения (МУРР)
- •3.10. Метод рефлектометрии рентгеновского излучения
- •3.11. Метод спектрометрии RBS (метод резерфордовского обратного рассеяния)
- •3.12. Метод циклической вольтамперометрии
- •Заключение по главе 3
- •ГЛАВА 4. СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОСВЯЗИ МЕЖДУ СОСТАВОМ, СТРОЕНИЕМ И СВОЙСТВАМИ КСЕРОГЕЛЕЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ ИЗ ЗОЛЕЙ ПРОПОКСИДА ЦИРКОНИЯ
- •4.1. Влияние условий синтеза на процесс формирования золей в растворе и получения сухих гелей
- •4.2. Состояние поверхности ксерогелей на основе ZrO2
- •4.3. Зависимость мезоструктуры ксерогелей от рН раствора
- •4.4. Зависимость мезоструктуры ксерогелей от ультразвукового воздействия
- •Заключение по главе 4
- •ГЛАВА 5. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОСВЯЗИ МЕЖДУ СОСТАВОМ, СТРОЕНИЕМ И СВОЙСТВАМИ СТЕКЛООБРАЗНЫХ ГЕЛЕЙ («ЦИРКОНИЕВЫХ СТЕКОЛ»), ПОЛУЧАЕМЫХ ИЗ ПРОПОКСИДА ЦИРКОНИЯ
- •5.1. Влияние условий синтеза на процесс формирования и свойства стеклообразных гелей на основе ZrO2
- •5.2. Исследование влияния условий синтеза на характеристики пористостой структуры «циркониевых стекол»
- •5.4. Исследование фазового состава «циркониевых стекол»
- •5.6. Определение элементного состава «циркониевых стекол»
- •5.7. Оптические характеристики монолитных «циркониевых стекол»
- •Заключение по главе 5
- •ГЛАВА 6. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОСВЯЗИ МЕЖДУ СОСТАВОМ, СТРУКТУРОЙ И СВОЙСТВАМИ АЭРОГЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ
- •6.1. Влияние условий золь-гель синтеза на мезоструктуру и фазовый состав аэрогелей
- •6.2. Эволюция пористости и фазового состава аэрогелей в процессе термообработки
- •Заключение по главе 6
- •ГЛАВА 7. НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ КРЕМНЕЗОЛЕЙ, СОДЕРЖАЩИХ СОЕДИНЕНИЯ ПЛАТИНЫ И ПАЛЛАДИЯ
- •7.1. Исследование влияния длительности созревания и концентрации легирующих добавок соединений платины и палладия на морфологию поверхности и пористость кремнеземных пленок, допированных Pt и Pd
- •7.1.1. Платиносодержащие кремнеземные пленки
- •7.1.2. Палладий и платина-палладий- содержащие кремнеземные пленки
- •7.2.1. Седиментационная устойчивость и пленкообразующие свойства кремнезолей, допированных соединениями платины и палладия
- •7.2.2. Толщинный профиль платино- и палладий содержащих кремнеземных пленок
- •7.3. Фазовый состав платино- и палладийсодержащих ксерогелей и пленок
- •7.3.1. Фазовый состав допантов и размер наночастиц платины в кремнеземной матрице
- •7.3.2. Фазовый состав допантов и размер наночастиц палладия в кремнеземной матрице
- •7.3.3. Фазовый состав допантов и размер наночастиц в композитах, полученных из кремнезолей, содержащих одновременно соединения платины и палладия
- •7.3.4. Зависимость размера образующихся кристаллитов наночастиц Pt/Pd в кремнеземной матрице от способа ее формирования и количества прекурсора ТЕОС в исходном золе. Особенности структуры кристаллитов Pt/Pd, распределенных в кремнеземной матрице
- •7.4. Анализ химических процессов, происходящих при гелеобразовании и пленкообразовании в кремнезолях, содержащих соединения платины и палладия
- •7.4.1. Исследование влияния соединений платины на процессы структурообразования и пленкообразования в кремнезолях на основе ТЭОС
- •7.4.2. Исследование влияния одновременного присутствия в кремнезоле соединений платины и палладия на процессы структурообразования и пленкообразования
- •7.5. Применение силикатных пленок, легированных платиной и палладием, в качестве каталитических слоев в устройствах электронной техники и энергетики
- •Заключение по главе 7
- •ВЫВОДЫ
- •Перечень сокращений
- •Список использованной литературы
- •Приложение 1. Результаты термического анализа образцов с одновременным анализом состава отходящих газов для ксерогелей Zr_К_2, Zr_К_5 и Zr_К_8_УЗ.
- •Приложение 2. Результаты термического анализа образца с одновременным анализом состава отходящих газов для «циркониевого стекла» Zr_C_N_1V(iPrOH)-0,25V(H2O)-лед
127
Толщины пленок, синтезированных из золей, выдержанных в течение 2 недель (первая серия), оказались меньше толщин пленок, полученных из золей выдержанных в течение 52 недель (вторая и третья серия). Наблюдаемая разница параметров пленок, несомненно, связана с увеличением вязкости золей по мере их старения в результате углубления процессов гидролиза TEOС и поликонденсации продуктов гидролиза. Интересно отметить, что толщина пленок (значит и вязкость золей) более существенно увеличивается в присутствии одного из допантов. Введение в кремнезоль двух допантов одновременно, Pt и Pd, в значительной степени нивелирует увеличение толщины пленок по мере старения золей.
Шероховатость высоколегированных Pd-содержащих пленок, полученных из менее состаренных золей (выдержанных в течение 2 недель), характеризуется более высокими значениями, чем для пленок, выдержанных в течение 1 года (таблица 7.3). Возможно, в том числе, это связано с тем, что в золях остается меньше соединений палладия – часть превращается в металлический Pd и выпадает в осадок в результате старения золя.
Необходимо отметить, что значения толщин исследованных пленок, полученных из Pd- и Pt/Pd-содержащих золей (после их старения в течение 52 недель), лежат в диапазоне 25-50 нм. Эти значения находятся в том же размерном диапазоне, что и для кремнеземных пленок, допированных платиной, полученных из золей на основе TEOС (20 масс. % в пересчете на PtO2,
3 об. % TEOС) [114].
7.3.Фазовый состав платино- и палладийсодержащих ксерогелей и пленок
7.3.1.Фазовый состав допантов и размер наночастиц платины в кремнеземной матрице
Необходимо отметить, что фазовый состав допантов изначально определяли с помощью метода порошкового рентгенофазового анализа. Из-за недостаточной разрешающей способности метода вместо тонких пленок использовали ксерогели или толстые пленки толщиной до 1 мм, послойно нанесенные методом разлива. На примере платиносодержащих кремнезолей было определено влияние температурного и временного режима на процесс формирования кристаллитов металла в кремнеземной матрице. На рисунке 7.12. представлены рентгенограммы образцов ксерогелей, полученных из золя 60Pt_40Si_3, при различных температурах сушки.
интенсивность, отн.ед.
20
128
5
4 3
2 1
|
|
|
|
|
40 2Θ,град60 |
80 |
Рисунок 7.12. Фрагменты дифракторграмм образцов ксерогелей, полученных из золя состава 60Pt/40Si/3, при различных температурах сушки: 1 – при 20°С, 2 – 80°С, 3 – 120°С, 4 – сушка при 20°С и дополнительный отжиг при 250°С, 5 – сушка при 80°С и дополнительный отжиг при 250°С.
Дифрактограмма 1 на рисунке 7.12 свидетельствует о том, что при медленной сушке золя, содержащего платину, при комнатной температуре образуется рентгеноаморфный ксерогель. При повышении температуры формирования ксерогеля (80 и 120°С), происходит образование кристаллической Pt. На ре нтгенограммах 2 и 3 видны множественные ярко выраженные рефлексы при 2θ: 39,8°, 46,2°, 67,5° и 81,3°, соответствующие кристаллографическим плоскостям (111), (200), (220) и (311) кубической гранецентрированной решетки платины (группа Fm3m) [201], что подтверждает результативное восстановление прекурсора Pt+4 до металлической Pt . Следует обратить внимание на то, что рефлексы для фаз PtO и PtO2 отсутствуют. Возможно, образуются рентгенонеразличимые оксиды, на присутствие которых в платиносодержащих пленках, полученных на основе ТЭОС и H2[PtCl6] ссылаются авторы [193, 194].
Значительное уширение пиков на рентгенограмме говорит о малом (нанометровом) размере кристаллитов. Для расчета среднего размера кристаллитов (области когерентного рассеяния) Pt0 по уравнению Дебая – Шеррера, использовались наиболее ярко выраженные рефлексы кристаллографического направления (111) (таблица 4). Необходимо отметить, что размеры кристаллитов, образовавшихся при гелировании, как при 80, так и при 120°С, находятся в пределах от 7 до 8 нм. В гелях, формировавшихся при комнатной температуре, после высушивания и термообработки при 250°С образовались более мелкие по размеру наночастицы размером 4-5 нм, что согласуется с работами авторов [201]. Кроме того, было
129
установлено, что повторное термическое воздействие при 250°С не оказывает существенного влияния на изменение размера частиц платины, сформировавшихся в гелях, созревавших при повышенных температурах – 80 и 120°С (рисунок 7.12, рентгенограммы 4 и 5 и таблица 7.4). При повторном нагреве ксерогеля, полученного при температуре 80°С до 250°С, в небольших количествах начинает появляться фаза смешанного оксида платины (рисунок 7.12, рентгенограмма 5).
Таблица 7.4. Размер области когерентного рассеяния кристаллитов Pt0 в ксерогелях, полученных из кремнезоля состава 60Pt_40Si_3, при различных температурах гелеобразования
Условия |
Температура, |
DОКР |
Дополнительный |
DОКР |
формирования |
ºC |
кристаллитов в |
отжиг при |
кристаллитов в |
ксерогеля |
|
направлении |
температуре |
направлении |
|
|
(111), нм |
|
(111), нм |
|
|
|
|
|
Гелеобразование |
20°С |
рентгеноаморфен |
|
5,3±0,5 |
при температуре |
|
|
250°С |
|
80°С |
7,2±0,7 |
7,2±0,7 |
||
|
|
|
|
|
|
120°С |
8,0±0,8 |
|
8,1±0,8 |
|
|
|
|
|
Четко выраженные пики кристаллической Pt0 на рентгенограммах на рисунке 7.12 свидетельствуют о том, что в результате даже небольшого нагрева в процессе гелеобразования платиносодержащих кремнезолей (до 80 - 120°C) образуются кристаллиты металлической платины, что совпадает с литературными данными [202]. Дополнительное уточнение размеров наночастиц (кристаллитов) платины было проведено с помощью альтернативного метода исследования – ПЭМ высокого разрешения.
На изображении (рисунок 7.13) видны агломераты, состоящие из наночастиц Pt размером 2-2,5 нм. Результаты микроскопии коррелируют с данными, полученными ранее авторами [193, 194] для пленок и гелей, сформированных из золей на основе ТЭОС в широком диапазоне концентраций соединений платины (от 20 до 60 масс.% в пересчете на PtO2). Возможно, что эти наночастицы также содержат и другие соединения платины – оксиды Pt+2 и
Pt+4.
130
а) б) Рисунок 7.13. ПЭМ наночастиц Pt, полученных из кремнезоля состава 60Pt_40Si_3, после его
гелирования и термообработки при 250°С (а) и FFT-преобразование изображения кристаллической структуры (б).
7.3.2. Фазовый состав допантов и размер наночастиц палладия в кремнеземной матрице
Если, для Pt-содержащих кремнезолей было установлено, что при комнатной температуре из них постепенно образуются рентгеноаморфные ксерогели, а при дополнительном отжиге при 250°С, в кремнеземной матрице формируются наночастицы Pt, размер DОКР которых составляет 5-7 нм [196], то для ксерогелей, легированных палладием, полученных из золей на основе TЭOС и PdCl2, характерна аналогичная картина (рисунок 7.14). Изначально, гель, образовавшийся естественным старением золей при комнатной температуре, является рентгеноаморфным. После его термообработки в диапазоне температур 130-250°С образуются кристаллиты металлического палладия с размером DОКР около 8 нм. Таким образом, из золя на основе водно-спиртового раствора TЭOС и соли палладия возможно получать ксерогели, содержащие металлические частицы палладия, не вводя в золи дополнительных восстановителей и не подвергая ксерогели термообработке в атмосфере водорода, как это приходилось делать авторам [203, 204], которые высаживали кристаллиты нуль-валентного палладия из водных растворов его солей.