- •ВВЕДЕНИЕ
- •ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СИНТЕЗА МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ АЛКОКСИДОВ КРЕМНИЯ И МЕТАЛЛОВ С ЛИГИРУЮЩИМИ ДОБАВКАМИ (ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ)
- •1.1. Методы синтеза материалов на основе ZrO2 и SiO2. Достоинства и недостатки
- •1.2.1. Монолитные материалы, полученные по золь-гель технологии на основе аморфного диоксида циркония
- •1.2.2. Тонкие кремнеземные пленки, полученные по золь-гель технологии
- •1.3 Использование в золь-гель синтезе неорганических соединений в качестве легирующих добавок
- •1.4. Важнейшие приемы золь-гель технологии: ультразвуковая обработка и режимы термообработки
- •1.5. Применение материалов на основе диоксида циркония и силикатных покрытий, содержащих легирующие добавки
- •Заключение по главе 1
- •2.1. Золь-гель синтез гелей на основе диоксида циркония с использованием в качестве прекурсора пропилата циркония (IV)
- •2.1.1. Золь-гель синтез порошков на основе диоксида циркония с использованием в качестве прекурсора пропилата циркония (IV)
- •2.1.2. Получение стеклообразных гелей «циркониевых стекол»
- •2.1.3. Получение аэрогелей на основе ZrO2 золь-гель методом
- •2.2. Синтез кремнезолей, содержащих соединения платины и палладия
- •2.2.1. Формирование силикатных покрытий, содержащих соединения платины и палладия
- •ГЛАВА 3. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ МАТЕРИАЛОВ
- •3.1. Феноменологические наблюдения
- •3.1.1. Контроль процесса гелеобразования
- •3.1.2. Контроль состояния поверхности покрытий
- •3.2. Микроскопия
- •3.2.1. Оптическая микроскопия
- •3.2.2. Растровая электронная микроскопия (РЭМ)
- •3.2.3. Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ)
- •3.2.4. Атомно-силовая микроскопия (АСМ)
- •3.3. Термический анализ
- •3.4. Спектроскопия
- •3.4.1. Спектроскопия
- •3.4.2. Рамановская спектроскопия
- •3.4.3. Метод спектрофотометрии
- •3.5. Рентгенофазовый и рентгенографический анализ
- •3.6. Метод низкотемпературной адсорбции газов
- •3.7. Спектральная эллипсометрия
- •3.8. Томография
- •3.9. Методы малоугового рассеяния
- •3.9.1. Метод малоуглового рассеяния нейтронов (МУРН) и ультрамалоуглового рассеяния нейтронов (УМУРН)
- •3.9.2. Метод малоуглового рассеяния рентгеновского излучения (МУРР)
- •3.10. Метод рефлектометрии рентгеновского излучения
- •3.11. Метод спектрометрии RBS (метод резерфордовского обратного рассеяния)
- •3.12. Метод циклической вольтамперометрии
- •Заключение по главе 3
- •ГЛАВА 4. СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОСВЯЗИ МЕЖДУ СОСТАВОМ, СТРОЕНИЕМ И СВОЙСТВАМИ КСЕРОГЕЛЕЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ ИЗ ЗОЛЕЙ ПРОПОКСИДА ЦИРКОНИЯ
- •4.1. Влияние условий синтеза на процесс формирования золей в растворе и получения сухих гелей
- •4.2. Состояние поверхности ксерогелей на основе ZrO2
- •4.3. Зависимость мезоструктуры ксерогелей от рН раствора
- •4.4. Зависимость мезоструктуры ксерогелей от ультразвукового воздействия
- •Заключение по главе 4
- •ГЛАВА 5. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОСВЯЗИ МЕЖДУ СОСТАВОМ, СТРОЕНИЕМ И СВОЙСТВАМИ СТЕКЛООБРАЗНЫХ ГЕЛЕЙ («ЦИРКОНИЕВЫХ СТЕКОЛ»), ПОЛУЧАЕМЫХ ИЗ ПРОПОКСИДА ЦИРКОНИЯ
- •5.1. Влияние условий синтеза на процесс формирования и свойства стеклообразных гелей на основе ZrO2
- •5.2. Исследование влияния условий синтеза на характеристики пористостой структуры «циркониевых стекол»
- •5.4. Исследование фазового состава «циркониевых стекол»
- •5.6. Определение элементного состава «циркониевых стекол»
- •5.7. Оптические характеристики монолитных «циркониевых стекол»
- •Заключение по главе 5
- •ГЛАВА 6. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОСВЯЗИ МЕЖДУ СОСТАВОМ, СТРУКТУРОЙ И СВОЙСТВАМИ АЭРОГЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА ЦИРКОНИЯ
- •6.1. Влияние условий золь-гель синтеза на мезоструктуру и фазовый состав аэрогелей
- •6.2. Эволюция пористости и фазового состава аэрогелей в процессе термообработки
- •Заключение по главе 6
- •ГЛАВА 7. НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ КРЕМНЕЗОЛЕЙ, СОДЕРЖАЩИХ СОЕДИНЕНИЯ ПЛАТИНЫ И ПАЛЛАДИЯ
- •7.1. Исследование влияния длительности созревания и концентрации легирующих добавок соединений платины и палладия на морфологию поверхности и пористость кремнеземных пленок, допированных Pt и Pd
- •7.1.1. Платиносодержащие кремнеземные пленки
- •7.1.2. Палладий и платина-палладий- содержащие кремнеземные пленки
- •7.2.1. Седиментационная устойчивость и пленкообразующие свойства кремнезолей, допированных соединениями платины и палладия
- •7.2.2. Толщинный профиль платино- и палладий содержащих кремнеземных пленок
- •7.3. Фазовый состав платино- и палладийсодержащих ксерогелей и пленок
- •7.3.1. Фазовый состав допантов и размер наночастиц платины в кремнеземной матрице
- •7.3.2. Фазовый состав допантов и размер наночастиц палладия в кремнеземной матрице
- •7.3.3. Фазовый состав допантов и размер наночастиц в композитах, полученных из кремнезолей, содержащих одновременно соединения платины и палладия
- •7.3.4. Зависимость размера образующихся кристаллитов наночастиц Pt/Pd в кремнеземной матрице от способа ее формирования и количества прекурсора ТЕОС в исходном золе. Особенности структуры кристаллитов Pt/Pd, распределенных в кремнеземной матрице
- •7.4. Анализ химических процессов, происходящих при гелеобразовании и пленкообразовании в кремнезолях, содержащих соединения платины и палладия
- •7.4.1. Исследование влияния соединений платины на процессы структурообразования и пленкообразования в кремнезолях на основе ТЭОС
- •7.4.2. Исследование влияния одновременного присутствия в кремнезоле соединений платины и палладия на процессы структурообразования и пленкообразования
- •7.5. Применение силикатных пленок, легированных платиной и палладием, в качестве каталитических слоев в устройствах электронной техники и энергетики
- •Заключение по главе 7
- •ВЫВОДЫ
- •Перечень сокращений
- •Список использованной литературы
- •Приложение 1. Результаты термического анализа образцов с одновременным анализом состава отходящих газов для ксерогелей Zr_К_2, Zr_К_5 и Zr_К_8_УЗ.
- •Приложение 2. Результаты термического анализа образца с одновременным анализом состава отходящих газов для «циркониевого стекла» Zr_C_N_1V(iPrOH)-0,25V(H2O)-лед
43
4 |
Zr_A_N_Me-t-Bu_ether_500 |
500 |
|
|
|
4 |
Zr_A_N_Me-t-Bu_ether_600 |
600 |
|
|
|
4 |
Zr_A_N_EtOH_400 |
400 |
|
|
|
4 |
Zr_A_N_EtOH_500 |
500 |
|
|
|
4 |
Zr_A_N_EtOH_600 |
600 |
|
|
|
Измельченные в порошок аэрогели нагревали в атмосфере воздуха, в муфельной печи марки СНОЛ с цифровым контроллером, с режимом нагрева – 1,5 ч для достижения заданной температуры и 5 ч выдерживали при температуре 400, 500 или 600°С.
2.2. Синтез кремнезолей, содержащих соединения платины и палладия
Исходя из имеющегося опыта [76], синтез золей диоксида кремния осуществляли путем медленного кислотного, в присутствии HCl, гидролиза тетраэтоксисилана (Si(OC2H5)4, ТЭОС, осч). Соединения платины и палладия, в виде их оксидов (а именно PtO2 и PdO), а также металлов – Pt и Pd, получали из гексахлорплатиновой кислоты
(H2PtCl6·6H2O, ТУ 6 -09-2026) и хлорида палладия (PdCl2, безводный, ТУ 6-09-2025-86).
Соли металлов растворяли в этаноле (98 масс.%), с концентрацией 0,154 М для Pt+4 и 0,113 M для Pd+2, соответственно, далее «заготовки» растворов вносили в этанольнобутанольный раствор прекурсора ТЭОСа. После тщательного перемешивания получали результирующий платино(палладий)содержащий кремнезоль, созревание золей длилось от 1 недели до нескольких лет (смотри таблицу 2.8).
Таблица 2.8. Маркировка образцов и соотношение компонентов реакции при золь-гель синтезекремнезолей, содержащих соединения платины и палладия
|
Расчетное |
|
Мольное |
|
Темпера- |
|
соотноше- |
Концентра |
соотношение |
Длитель |
тура |
Условное |
ние PtO2 и |
ция ТЭОС |
Pt:Pd:Si, моль |
ность |
сушки/до- |
обозначение |
(или) PdO к |
в исходном |
|
созрева- |
полнитель- |
образцов |
SiO2 |
растворе, |
|
ния |
ной термо- |
|
масс.% (по |
об.% |
|
золей |
обработки, |
|
синтезу)* |
|
|
|
°С |
|
|
|
|
|
|
|
платиносодержащий кремнезоль |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
60Pt/40Si/3 |
60:40 |
3 |
1:0:2,5 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
60Pt/40Si/1 |
60:40 |
1 |
1:0:0,83 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
44
20Pt/80Si/3 |
20:80 |
3 |
1:0:15 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pt/80Si/1 |
20:80 |
1 |
1:0:5 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pt/80Si/5 |
20:80 |
5 |
1:0:25 |
2 недели |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pt/80Si/10 |
20:80 |
10 |
1:0:50 |
2 недели |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pt/80Si/20 |
20:80 |
20 |
1:0:100 |
2 недели |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pt/80Si/3-450 |
20:80 |
3 |
1:0:15 |
5 недель |
250/450 |
|
|
|
|
|
|
20Pt/80Si/3-550 |
20:80 |
3 |
1:0:15 |
5 недель |
250/550 |
|
|
|
|
|
|
20Pt/80Si/1-450 |
20:80 |
1 |
1:0:5 |
5 недель |
250/450 |
|
|
|
|
|
|
20Pt/80Si/1-550 |
20:80 |
1 |
1:0:5 |
5 недель |
250/550 |
|
|
|
|
|
|
60Pt/40Si/3-450 |
60:40 |
3 |
1:0:2,5 |
5 недель |
250/450 |
|
|
|
|
|
|
60Pt/40Si/3-550 |
60:40 |
3 |
1:0:2,5 |
5 недель |
250/550 |
|
|
|
|
|
|
60Pt/40Si/1-450 |
60:40 |
1 |
1:0:0,83 |
5 недель |
250/450 |
|
|
|
|
|
|
60Pt/40Si/1-550 |
60:40 |
1 |
1:0:0,83 |
5 недель |
250/550 |
|
|
|
|
|
|
60Pt/40Si/3-old |
60:40 |
3 |
1:0:2,5 |
6 лет |
250/- |
|
|
|
|
|
|
60Pt/40Si/1-old |
60:40 |
1 |
1:0:0,83 |
6 лет |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pt/80Si/3-old |
20:80 |
3 |
1:0:15 |
6 лет |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pt/80Si/1-old |
20:80 |
1 |
1:0:5 |
6 лет |
250/- |
|
|
|
|
|
|
|
палладийсодержащий кремнезоль |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
1Pd/99Si/3 |
1:99 |
3 |
0:1:201 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
3Pd/97Si/3 |
3:97 |
3 |
0:1:66 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
5Pd/95Si/3 |
5:99 |
3 |
0:1:39 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
10Pd/90Si/3 |
10:90 |
3 |
0:1:18 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pd/80Si/3 |
20:809 |
3 |
0:1:8 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
|
платина(палладий)содержащий кремнезоль |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
20Pt/1Pd/79Si/3 |
20:1:79 |
3 |
11:1:161 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pt/3Pd/77Si/3 |
20:3:77 |
3 |
4:1:52 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pt/5Pd/75Si/3 |
20:5:75 |
3 |
2:1:30 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pt/10Pd/70Si/3 |
20:10:70 |
3 |
1:1:14 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
20Pt/20Pd/60Si/3 |
20:20:60 |
3 |
1:2:11 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
1Pt/3Pd/96Si/3 |
1:3:96 |
3 |
1:5:364 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
1Pt/5Pd/94Si/3 |
1:5:94 |
3 |
1:9:356 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
1Pt/10Pd/89Si/3 |
1:10:89 |
3 |
1:19:337 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
1Pt/20Pd/79Si/3 |
1:20:79 |
3 |
1:37:299 |
1 неделя |
250/- |
|
|
|
|
|
|
45
* количество соли металла и ТЭОС для приготовления платино(палладий)содержащего кремнезоля рассчитывалось исходя из предположения, что в результате формирования пленки (или ксерогеля, т.е. после удаления всех растворителей) в сухом продукте остаются только два оксида – кремнезем SiO2 и оксид(ы) металла(ов) PtO2 или PtO2/PdO.
Рисунок 2.5. Кремнезоли, допированные соединениями платины и палладия в различном концентрационном соотношении.
2.2.1. Формирование силикатных покрытий, содержащих соединения платины и палладия
Созревшие золи (т.е. золи, которые приобрели пленкообразующие свойства) наносили на предварительно очищенные в спиртовых растворах подложки из монокристаллического кремния или стекла методом центрифугирования при скорости вращения 2500 об/мин (центрифуга CP-60LH). При этом первая серия образцов была получена из золей, выдержанных в течение 2 недель, образцы второй и третьей серии получали из золей аналогичных составов, которые выдерживали в течение 52-х недель (1 год) при температуре ~20°C и 312-ть недель (6 лет) при температуре +5°С. Отметим, что за это время золи стали более вязкими, однако они сохранили свою подвижность и не перешли в гель. Пленки сушили при температуре 130 или 250°С в течение 30 мин. Некоторые образцы дополнительно отжигали при температуре 450 или 550°С в муфельной печи (серия LOIP LF-7/13) в течение 3 ч на воздухе.
Синтезированные золи также использовали для нанесение каталитического слоя на углеродную бумагу (марка Toray TGPH 090T, толщиной 280 мкм). Этот процесс осуществляли методом «разлива», из расчета 0,07 мл золя на 3 см2, покрытие наносили с одной стороны листа бумаги, сушили на воздухе и фиксировали при температуре 130°С.