книги / Неразрушающий контроль параметров тонких проводящих пленок электромагнитными методами

192	Список литературы

15. Быковский Ю. А., Маныкин Э. А., Ожован М. И., Полуэктов П. П. Погло­ щение электромагнитного излучения ультратонкимн металлическими сло­ ями Ц ЖПС. — 1981. — Т. 35, № 6. — С. 1088—1090.

16.Ваврив Д. М., Шматько А. А. Импедансный подход к теории открытых ре­ зонаторов II Вести. Харьк. ун-та. Радиофизика и электроника. — 1977. — Вып. 6, № 151. — С. 33—35.

17.Валюкенас В. И., Видугирите А. А., Ивашка В. П. и др. Исследование

электропроводности тонких слоев Си и А1 на СВЧ- и постоянном токе // Лит. физ. сб. — 1968. — Т. 8, № 7. — С. 603—610.

18. Валюкенас В. И., Ивашка В. П„ Кибертас В. В. Определение удельного по­

верхностного	сопротивления	тонких металлических слоев в области СВЧ
по измерению	коэффициента	прохождения // Лит. физ. сб. — 1972. —

Т.12, № 2. — С. 297—303.

19.Варшавер Б. А., Герасимов В. Г. Выбор электрической схемы прибора при контроле изделий методом вихревых токов // Тр. МЭИ. Электротехника. —

1964. — Вып. 57. — С. 111—125.

20. Васильев А. И., Черноусова И. И., Яцынина Н. Л. Метрологическое обес­ печение средств измерений электромагнитных параметров материалов на ВЧ и СВЧ в странах — членах СЭВ // Измер. техника. — 1981. — № 5. —

С.63—64.

21.Виноградов Е. А., Голованов В. И., Ирисов Н. А., Латышев А. Б. О геомет­

рической толщине проводящих пленок, описываемых	импедансной мо­
делью // Крат, сообщ. по физике. — 1983. — № 7. — С.	13—17.

22.Гаврилин В. В. Приближенная теория взаимодействия проводящей среды с полем индукционного преобразователя. I. Однородное проводящее полупро­ странство И Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1976. — № 4. —

С.13—18.

23.Гаврилин В. В. Приближенная теория взаимодействия проводящей среды с полем индукционного преобразователя. II. Двухслойная структура // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и,;техн. наук. — 1976. — № 4. — С. 19—26.

24.Гаврилин В. В. Цилиндрическая тонкопленочная проводящая структура в поле бесконечного соленоида // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1977. — № 2. — С. 99—103.

25.Гаврилин В. В. Контроль поверхностного импеданса тонких проводящих пленок накладным дифференциальным преобразователем // Изв. АН ЛатвССР. Сер. 'физ. и техн. наук. — 1977. — № 4. — С. 18—24.

26.Гаврилин В. В. Исследования по разработке электромагнитных методов кон­ троля тонкопленочных проводящих структур : Автореф. дне. ... канд. техн. наук. — Рига, 1978. — 22 с.

27.Гаврилин В. В. Исследование тонких проводящих дисков вихретоковым пре­ образователем // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1978. —

№5. — С. 53—60.

23. Гаврилин В. В. Вихретоковые толщиномеры с отстройкой от зазора и ка­ либровкой при помощи электронной схемы // Чувствительность электрон­ ных и электромеханических устройств: Тез. докл. Всесоюз. семинара. — М., 1979. — С. 33—34.

29. Гаврилин В. В. Создание аппаратуры для контроля процесса производства тонколроводящих покрытий и пленок I/ Контроль толщины покрытий и его метрологическое обеспечение. — Рига : Зинатне, 1979. — С. 44—48.

39.Гаврилин В. В. Контроль слоистых проводящих структур по входному им­ педансу вихретоковым методом // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техи. наук. — 1980. — № 1. — С. 31—37.

31.Гаврилин В. В. Отстройка от вариации зазора на основе приближенных ана­ литических зависимостей // Методы и приборы автоматического неразрушающего контроля. — Рига, 1980. — С. 100—109.

32.Гаврилин В. В. Возможность отстройки от зазора при контроле тонких металлических покрытий дифференциальным вихретоковым преобразова­

Список литературы	193

телем II Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техи. наук — 1983. — № 2 —

С. 23—29.

33.Гаврилин В. В. Приборы для неразрушающего контроля толщины тонких металлических покрытий: Докл. на Всемир. выст. «Болгарнят85». — М. 1985. — 4 с.

34.	Гаврилин	В. В. Высокочастотные	измерители	металлических	покрытий
	типа ВИМП-13, ВИМП-31 и ВИМП-51 // Приборы для научных исследо­
35.	ваний. — Рига : Зииатне, 1986. — С. 49—51.
	Гаврилин В. В. Вихретоковые приборы серии ВИМП для измерения пара­
	метров тонких металлических пленок // VIII обл. науч.-техн. конф. «Про­
	грессивные методы и средства неразрушающего контроля полуфабрикатов
	деталей и изделий как эффективный фактор повышения качества и на­
	дежности	выпускаемой продукции»:	Тез. докл.	— Куйбышев,	1987. —

С.15—16.

36.Гаврилин В. В. К вопросу об аттестации приборов для неразрушающего контроля тонких металлических пленок // Методы и средства измерений

электромагнитных характеристик	материалов	на ВЧ и СВЧ: Тез. докл.
VI Всесоюз. науч.-техн. конф. —	Новосибирск,	1987. — С. 135—136.

37.Гаврилин В. В. Иеразрушающие приборы для измерения тонких метал­ лических пленок // XI Всесоюз. конф. «Неразрушающие физические методы

и средства контроля». — М., 1987. — С. 38.

38.Гаврилин В. В. Устройство для измерения толщины металлических покры­ тий. Заявка № 4079279/28, полож. решение от 31.07.87.

39.Гаврилин В. В. Вихретоковое устройство неразрушающего контроля. За­ явка Ns 4164802/25. полож. решение от 30.09.87.

40.Гаврилин В. В., Григале Д. А., Фелтынь И. А. Электропроводность пле­

нок, полученных из карбонила молибдена в ВЧ-разряде в аргоне // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техи. наук. — 1988. — № 2. — С. 51—53.

41. Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Электромагнитное поле витка с током над проводящей плоскостью // Тез. докл. II Всесоюз. межвуз. конф. по электро­

магнитным методам контроля качества материалов и			изделия.	—	Рига,.
1975. — С. 130—136.		Ю. К. Импедансная методика исследования тон­
42. Гаврилин В. В Г р и г у л и с
копленочных	проводящих	структур в микроволновом	диапазоне	//	Изв.
АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1976. — № 4. — С. 70—78.
43. Гаврилин В.	В., Григулис	10. К. Аппаратура для бесконтактного • измере­

ния сопротивления тонких пленок // Изв. АН ЛатвССР. — 1976. — № 7. —

С.130—138.

44.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Исследования тонких проводящих пле­ нок электромагнитным полем индукционного преобразователя // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техи. наук. — 1977. — № 1. — С. 64—72.

45.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Контроль тонких проводящих пленок электромагнитными методами // Тез. докл. VIII Всесоюз. науч.-техн. конф. по неразрушающим физическим методам и средствам контроля. — Ки­ шинев, 1977. — С. 471—474.

46.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Исследования проводящих круглых пла­ стин и пленок проходным токовихревым преобразователем // Изв. АН

ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1977. — № 5. — С. 82—92.

47. Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Аппаратура для бесконтактного измере­ ния высокоомных резистивных пленок // Создание новых приборов для ис­ следования тонких пленок: Тез. докл. Всесоюз. науч.-техн. совещ. — Сумы, 1978. — С. 27—28.

48.Гаврилин В. В., Григулис 10. К. Измеритель толщины металлических по крытий с отстройкой от зазора // Изв. АН ЛатвССР. — 1978. — Ns 11. — С. 136—139.

49.Гаврилин В. В., Григулис 10. К. Методика отстройки от вариации зазора при создании аппаратуры вихретокового контроля // Проблемы теории

13 — 599

194	Список литературы

чувствительности электромеханических и электронных систем. — М., 1978. —

С. 61.

50.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Методика отстройки от зазора при кон­

троле	тонких пленок / / I I I Всесоюз.	конф. «Электромагнитные	методы кон­
троля	качества изделий» : Тез. докл.	— Куйбышев, 1978. —	С. 42—44. {

51.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Изменение входного импеданса слоистых структур вихретоковым методом // Контроль толщины, покрытии и его ме­

трологическое	обеспечение: Тез. докл. III Всесоюз. науч.-техн. совещ. —
Рига : Зннатне,	1979. — С. 44—48.

52.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Особенности внедрения приборов для контроля процесса вакуумной металлизации // Новые средства и методы неразрушающего контроля промышленной продукции: Тез. докл. V обл. науч.-техн. конф. — Куйбышев, 1979. — С. 35—37.

53.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Методика контроля тонких токопроводя­ щих покрытий и пленок // Дефектоскопия. — 1980. — № 12. — С. 20—27.

54.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Прибор для контроля процесса металли­ зации стальных лент и полупроводниковых дисков // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1980. — № 5. — С. 124—125.

55.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Способ измерения сопротивления тонких проводящих покрытии и устройство для его осуществления: А. с. 862063

СССР, МКИ G01 N27/90. — № 2602063/25-28; Заявлено 11.04.78; Опубл.

10.09.81, Бюл. № 12. — 2 с.

56.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Использование дифференциальных пре­ образователей для контроля тонких металлических пленок // Проблемы теории чувствительности электронных и электромеханических систем : Тез. дохл. II Всесоюз. науч.-техн. конф. — М., 1981. — С. 73.

57.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Контроль параметров двухслойных метал­ лических структур импедансным методом в ВЧ-диапазоне // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1982. — № 3. — С. 60—64.

58.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Оснащение действующих вакуумных уста­ новок приборами активного контроля металлопокрытий // Автоматизация технологических процессов нанесения покрытий в вакууме: Тез. докл. респ. семинара. —. Киев, 1982. — С. 19.

59.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Прибор типа ВИМП-5 для измерения тол­ щины металлических покрытий на диэлектрике //. Новые методы и средства неразрушающего контроля качества материалов полуфабрикатов и изделий : Тез. докл. VI обл. науч.-техн. конф. — Куйбышев, 1982. — С. 32—33.

60.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Способ измерения толщины проводящего слоя изделий: А. с. 1044962 СССР, МКИ G01 В7/06. — № 3456885/25-28; Заявлено 28.06.82; Опубл. 30.09.83, Бюл. № 36. — 2 с.

61.Гаврилин В. В., Григулис 10. К. Настольные приборы для измерения тол­ щины тонких металлических покрытий на диэлектриках // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1984. — № 1. — С. 119—121.

62.Гаврилин В. В., Григулис 10. К. Сопоставительный анализ применения

приборов для контроля вакуумных покрытий II Неразрушающне методы контроля в промышленности: Тез. докл. семинара. — Рига, 1984. —

С. 19—21.

63.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Перспективы внедрения вихретоковых приборов для контроля вакуумных покрытий // Прогрессивные методы и средства иеразрушающего контроля промышленной продукции: Тез. докл. науч.-техн. конф. — Куйбышев, 1985. — С. 30—31.

64.Гаврилин В. В., Григулис 10. К. Использование импедансной методики при

создании вихретоковых приборов // Дефектоскопия. — 1986. — № 10. —

С.56—63.

65.Гаврилин В. В., Григулис /О. К. Прибор для измерения толщины метал­ лических слоев на полупроводниках и диэлектриках // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1987. — № 2. — С. 122—123.

Список литературы	195

66.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К. Прибор с цифровой индикацией для кон­ троля тонких металлических покрытий // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1987. — № 2. — С. 119—121.

67.Гаврилин В. В., Г ригулис Ю. К. Стационарный трехканальный прибор типа ВИМП-13 для контроля параметров вакуумных покрытий // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1987. — № 2. — С. 124—125.

68.Гаврилин В. В., Григулис Ю, К., Дагилис М. К. Прибор для бесконтакт­

ного контроля тонких пленок в процессе вакуумной металлизации // Соз­ дание новых приборов для исследования тонких пленок: Тез. докл. Всесоюз. науч.-техн. совещ. — Сумы, 1978. — С. 27—28.

69.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К., Дагилис М. К. Прибор для контроля тонких металлических покрытий в процессе вакуумной металлизации /[ Электромагнитные методы контроля качества изделий: Тез. докл. III Всесоюз. науч.-техн. конф. — Куйбышев, 1978. — С. 42—44.

70.Гаврилин В. В., Григулис 10. К., Дагилис М. К. Прибор для контроля

поверхностного сопротивления тонких металлических покрытий // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1982. — № 5. — С. 124—125.

71. Гаврилин В. В., Григулис Ю. К.., Дагилис М. К. и др. Аппаратура для

контроля процесса	металлизации в вакууме // Изв. АН ЛатвССР. —
1977. — № 2. — С.	132— 135.

72.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К., Комаров А. В., Порис У. Р. Исследова­ ние возможности СВЧ-коитроля процесса отверждения связующего при создании фольгированных диэлектриков // Оптические и радиоволновые методы и средства неразрушающего контроля качества материалов и из­ делий : Тез. докл. I Всесоюз. науч.-техн. конф. — Фергана, 1981. — Ч. 2 .—

С.5—8.

73.Гаврилин В. В., Григулис 10. К., Озолс К. К. Прибор для измерения по­ верхностного сопротивления металлических пленок // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1977. — № 11. — С. 99—100.

74.Гаврилин В. В., Григулис 10. К., Пориныи В. М. Аппаратура для конт­ роля процесса производства тонкослойных полупроводниковых и метал­ лических структур II Дефектоскопия. — 1980. — № 8. — С. 9—15.

75.Гаврилин В. В., Григулис 10. К., Пориныи В. М. Электромагнитные радноволновые приборы для контроля слоев полупроводниковых и металли­ ческих структур. — Рига : Зинатне, 1982. — 162 с.

76.Гаврилин В. В., Григулис 10. К., Пориныи В. М. Приборы для контроля

толщины и качества металлических контактных слоев на полупроводнико­ вых структурах // Технология и конструирование быстродействующих силовых полупроводниковых приборов. — Таллинн: Валгус, 1984. —

С.54—58.

77.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К., Пориныи В. М. Стабильность работы и аттестация электромагнитных приборов металлических покрытий на по­ лупроводниках и диэлектриках // Неразрушающие методы контроля в про­ мышленности : Тез. докл. Всесоюз. семинара. — Рига, 1986. — С. 32—33.

78.Гаврилин В. В., Григулис 10. К-, Пориныи В. М. и др. Радиоволновые импедансные преобразователи для контроля слоев полупроводниковой тех­

	ники //	Всесоюз.	науч.-техн.	конф.	«Неразрушающне физические методы
79.	и средства контроля». — Львов, 1984. — С. 105.
	Гаврилин	В. В.,	Григулис 10. К., Порис У. Р. Разработка СВЧ-прибора
	для контроля токопроводящих бумаг в процессе производства // Контроль
	толщины покрытий и его метрологическое обеспечение : Тез. докл. III Все­
	союз. науч.-техн. совещ. — Рига : Зинатне, 1979. — С. 44—48.
80.	Гаврилин	В. В.,	Григулис 10.	К.,	Порис У. Р. СВЧ-прнборы для конт­

роля высокоомных рулонных материалов большой площади // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1980. — № 5. —. С. 121— 123.

81. Гаврилин В. В., Григулис 10. К., Порис У. Р. Измерение параметров тон­ копленочных структур методом открытого резонатора в СВЧ-диапазоне // Методы и средства измерений электромагнитных характеристик матерна-

13*

196	Список литературы

лов на ВЧ и СВЧ: Тез. докл. V Всесоюз науч.-техн. конф. — Новосибирск, 1983. — С. 34—35.

82.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К., Порис У. Р. Способ измерения поверх­ ностного сопротивления высокоомного покрытия на диэлектрической под­

лож ке: А. с. 1168871 СССР, МКИ 4G01R 27/00. — № 3689557/24-09; Заяв­ лено 05.01.84; Опубл. 23.07.85, Бюл. Ns 27. — 3 с.

83. Гаврилин В. В., Григулис Ю. К., Порис У. Р. Способ определения парамет­

ров	листовых материалов: А. с. 1264105	СССР, МКИ G01R 27/04. —
№	3821382/24-09; Заявлено 05.12.84; Опубл.	15.10.86, Бюл. № 38. — 2 с.

84.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К., Порис У. Р. Контроль тонкослойных про­ водящих структур открытым резонаторным преобразователем // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1986. — № 5. — С. 76—83.

85.Гаврилин В. В., Григулис Ю. К., Порис У. Р., Русманис С. Ю. Исследова­

ние возможности раздельного измерения параметров полупроводниковых структур в прошедшем СВЧ-сигнале // Изв. АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1979. — № 3. — С. 62—69.

86.Гаврилин В. В., Дзилюмс К. А., Пориныи В. М. Освоение электромагнит­ ных приборов для контроля контактных и защитных покрытий на полу­

проводниках и диэлектриках // Электромагнитные методы контроля каче­ ства материалов и изделий: Тез. докл. IV Всесоюз. межвуз. конф. —

87.	Омск, 1983. — С. 93—94.
	Гаврилин В. В., Дзилюмс К. А., Пориныи В. М., Порис У. Р. Неразру­
	шающий контроль толщины и качества		металлических контактных слоев
	на полупроводниковых структурах // Неразрушающие методы контроля в
88.	промышленности. — Рига, 1983. — С. 25—27.
	Гаврилин В. В., Емельянов А. Л. Разработка и испытание прибора для
	контроля металлизации кремниевых дисков // Контроль толщины			покрытий
	и его метрологическое	обеспечение: Тез.	докл. 111 Всесоюз.	науч.-техн.
	совещ. — Рига : Зинатне,	1979. — С. 42—44.

89.Гаврилин В. В., Клявинь И. В. Результаты испытаний прибора ВИМП-1 для контроля вакуумных покрытий // Контроль толщины покрытий и его метрологическое обеспечение: Тез. докл. Ill Всесоюз. науч.-техн. совещ. — Рига : Зинатне, 1979. — С. 183—184.

90.Гаврилин В. В., Порис У. Р. Дистанционный контроль параметров прово­

дящих структур		большой	плсщади в прошедшем			СВЧ-сигнале	//	Изв.
АН ЛатвССР. Сер. физ. и техн. наук. — 1980. — №						1. — С. 31—37.		па­
91. Гаврилин	В. В П о р и с У.		Р. Методика		непрерывного СВЧ-контроля
раметров	тонких	диэлектрических		слоев	открытым	резонатором	//	Изв.
АН ЛатвССР. Сер. физ. и			техн.	наук.	— 1986. —	№ 5. — С.	84—90.

92.Герасимов В. Г. Вопросы общей теории и применения метода вихревых токов для контроля многослойных проводящих изделий : Автореф. дис. ...

д-ра техн. наук. — М., 1970. — 38 с.

93.Герасимов В. Г. Электромагнитный контроль однослойных и многослой­ ных изделий. — М .: Энергия, 1972. — 152 с.

94.Герасимов В. Г., Клюев В. В., Шатерников В. Е. Методы и приборы электромагнитного контроля промышленных изделий. — М .: Энергоатомиздат, 1983. — 272 с.

95.Герасимов В. Г., Терехов Ю. Н., Лантратов В. А. Возможность отстройки от изменений сильно влияющего мешающего параметра // Тез. докл. VII Всесоюз. науч.-техи. конф. по неразрушающим физическим методам н сред­ ствам контроля. — Кишинев, 1977. — Ч. 2 (б). — Q. 421—424.

86.Гораздовский Т. Я. Неразрушающий контроль. — М .: Знание, 1977. — 64 с.

97.Гораздовский Т. Я. Современный научно-технический прогресс и контроль качества материалов. — М .: Знание, 1980. — 49 с.

98. Григулис Ю. К., Гаврилин В.	В.	Аттестация тонких	проводящих	пленок
по поверхностному импедансу	//	Измер. техника. —	1978. — №	2. —
С. 37—40.

Список литературы

197

99.Григулис Ю. К., Гаврилин В. В. Устройство для бесконтактного измерения

сопротивления проводящих пленок: А. с. 575934 СССР. МКИ G01R 31/26,— № 2185020/25; Заявлено 27.10.75; Опубл. в 1978, Бюл. № 33. — 3 с.

100. Григулис		Ю. К.,	Гаврилин В. В. Исследования по разработке электромаг­
	нитных	методов	контроля тонкопленочных проводящих структур // Изв.
101.	АН ЛатвССР. — 1979. — № 2. — С. 78—93.
	Григулис Ю. К., Гаврилин В. В. Методы электромагнитного импеданса и
	приборы для контроля тонкопленочных структур в электронной технике //
	Междунар. конф. по неразрушающему контролю. — Мельбурн, 1979			В-7.—
102.	С. 1— 10.			вопро­
	Григулис Ю. К-, Гаврилин В. В. Третье всесоюзное совещание по
	сам контроля толщины покрытий II Дефектоскопия. — 1979. — №			10. —

С. ПО—Ш .

103.Григулис 10. К., Гаврилин В. В., Дагилис М. К. Способ измерения тол­

щины	тонких проводящих	покрытий : А. с. 901938	СССР,	МКИ G01R
27/00.	— № 2465028/18-21;	Заявлено 22.03.77; Опубл.	30.01.82,	Бюл. № 4 .—

3 с.

104.Григулис 10. К., Гаврилин В, В., Пориныи В. М. Управление качеством создания структур полупроводниковых приборов по результатам неразру­ шающего контроля // Применение неразрушающих методов контроля в народном хозяйстве. — Рига, 1985. — С. 1—3.

105.Григулис Ю. К., Гаврилин В. В., Пориныи В. М. Отработка технологии

получения контактов СПП при помощи неразрушающих методов конт­ роля // Развитие технологии и конструкции быстродействующих СПП. — Таллинн : Валгус, 1985. — С. 58.

106. Григулис Ю. К., Кагайне Л. Я., Гаврилин В. В. Неразрушающин контроль тонких пленок электромагнитным измерением ИК- и видимого диапазона // III обл. науч.-техн. конф. «Неразрушающие методы контроля качества материалов и полуфабрикатов». — Куйбышев, 1975. — С. 45—47.

107.Данилин М. Неразрушающий контроль качества продукции радиоэлектро­ ники. — М .: Изд-во стандартов, 1976. — 240 с.

108.Даревский А. С., Ждан А. Г. Реальная структура и электропроводность островковых пленок металлов // Микроэлектрон. — 1978. — Т. 7, № 5. —

С. 469—471.	и другие математические	формулы:
109. Двайт Г. Б. Таблицы интегралов
Пер. с англ. — М .: Наука, 1973. —	154 с.	1976. —
110. Диспергированные металлические пленки: Темат. сб. — Киев,

196с.

111.Дорофеев А. Л. Применение электромагнитного метода контроля качества изделий в машиностроении // Дефектоскопия. — 1970. — № 3. — С. 5—19.

112.Дорофеев А. Л, Индукционная структуроскопня. — М .: Энергия, 1973. —

176с.

113.Дорофеев А. Л., Никитин А. И., Рубин А. Л. Индукционная толщннометрия. — М .: Энергия, 1969. — 152 с.

114.Дубицкий Л. Г., Крылов К. И., Павельев В. А., Рудаков В. Н. Совре­ менное состояние и задачи радноиитроскопнн // Применение радионнтроскопии в промышленности. — М., 1967. — С. 3—10.

115.Дунаевский Г. Е. Бесконтактный квазноптическип резонаторный контроль диэлектрических, полупроводниковых и металлических объектов // Дефек­ тоскопия. — 1986. — № l . i — С. 35—43.

116.Дьячков В. И., Кобцева 10. Н., Коробейников П. В. Исследование парамет­ ров пленочных нихромовых резисторов на высоких частотах // Изв. вузов. Радиоэлекгрои. — 1971. — Т. 14, № 4. — С. 467—469.

117.Дякин В. В., Сандовский В. А. Теория и расчет накладных вихретоковых преобразователей. — М .: Наука, 1981. — 136 с.

118.Ж агло В. П., Петренко А. Г. Исследование коэффициентов пропускания и отражения СВЧ-тонкнх пленок // ФТТ. — 1977. — № 7. — С. 36—38.

198	Список литературы

119.Жилинскас Р. А., Пуртулис Р. Ю., Якученис Л. А. Некоторые оптические свойства очень тонких пленок AI // Лит. физ. сб. — 1969. — Т. 9, № 3. —

С. 547—555.
120. Зацепин	И. Н. Неразрушающий контроль. — Минск: Наука и техника,
1979. —	192 с.

121. Зацепин Н. И. Исследование электромагнитных процессов в проводящих

средах и	разработка многопараметровых методов контроля изделий: Ав-
тореф. дне.	... д-ра техн. наук. — М., 1985. — 41 с.

122.Иванов А. Е., Калмин В. А., Кожевникова Т. В. Расчет волноводной на­ грузки на базе отрезка волновода с резистивной пленкой // Изв. вузов

СССР. Радиоэлектрон. — 1982. — № 11. — С. 62—65.

123.Ивашка В. Л., Лауцюс А. С., Кибертас В. В. Определение удельного со­ противления (поверхностного) тонких металлических слоев на СВЧ // Лит. физ. сб. — 1970. — Т. 10, № 3. — С. 385—390.

124.Кадек В. М., Лусис А. X., Соколов Ю. Н. и др. Физико-химические свой­

	ства тонких металлических пленок,	напыленных	на металлическую основу.
	III. Алюминиевые пленки на полимерной основе // Изв. АН ЛатвССР. Сер.
125.	хим. — 1976. — № 2. — С. 153—162.
	Калантаров П. А., Цейтлин Л. А. Расчет индуктивностей : Справочник. —
126.	Л .: Энергия, 1970. — 415 с.	способности	металлических пленок в
	Каплан А. Е. Об отражательной
	СВЧ- и радиодиапазоне // Радиотехника и электрон. — 1964. — Т. 9,
127.	вып. 10. — С. 1781—1787.	контроля качества материалов и изде­
	Каталог средств неразрушающего
128.	лий. — Кишинев : Тнмпул, 1979. — 50 с.
	Кевлев В. М., Трусов Л. И., Холмянский В. А. Структурные превращения

в тонких пленках. — М .: Металлургия, 1982. — 248 с.

129.Клюев В. В. Исследование электромагнитных методов и разработка ком­ плекса приборов для неразрушающего контроля дефектов, толщины и сме­ щения изделий в процессе производства и технологических испытаний: Автореф. дис. ... д-ра техн. наук. — М., 1972. — 47 с.

130.Клюев В. В. Проблемы физических методов контроля качества // Дефекто­ скопия. — 1978. — № 9. — С. 5—12.

131.Ковалев И. С. Прикладная электродинамика. — Минск: Наука и техника, 1978. — 343 с.

132.Ковалев И. С. Определение толщины проводящей пленки при наклонном падении на нее электромагнитной волны // Вести. АН БССР. Сер. физ.- техн. — 1983. — № 2. — С. 105—111.

133.Ковтонюк Н. Ф., Концевой 10. А. Измерение параметров полупроводнико­ вых материалов. — М .: Металлургия, 1970. — 429 с.

134.Комник Ю. Ф., Палатник Л. С. О влиянии структуры на электропроводность тонких пленок // ФТТ. — 1965. — Т.7, вып. 2. — С. 539.

135.Конев В. А., Кулешов Е. М., Пунько И. И. Радиоволновая эллипсометрия. — Минск: Наука и техника, 1985. — 99 с.

136.Конев В. А., Любецкий И. В., Цейтлин Я. М. Контроль толщины тонких металлических покрытий // Измер. техника. — 1984. — № 10. — С. 18— 19.

137.Кудзене Б. Методы измерения толщины покрытий. — Вильнюс, 1983. — 123 с.

138. Курозаев В. П., Клюев В. В. Анализ методов подавления влияния зазора с помощью фазочувствительных схем применительно к измерению толщины электропроводящих изделий // Тр. НИИИИ. Иеразрушающий контроль ка­ чества изделий. — М., 1973. — Вып. 4. — С. 16—22.

139. Лабуков В. А., Колосницын Б. С., Бондаренко В. П. Устройство для из­ мерения электрофизических свойств тонких пленок // Завод, лаб. — 1977. —

3.— С. 46—58.

140.Лабутин В. К. Частотно-избирательные цепи с электронной настройкой. — М.—Л .: Энергия, 1966 — 206 с.

Список литературы

199

141.Литвановский Б. А., Лапин 3. С., Скорик Н. И., Слободчина Н. Н. О вос­ производимости сопротивления токо^лекочкого резистора // Электрон, техника. Сер. III. Микроэлектрон. — 1973. — Вып. 1. — С. 35.

142.Литвановский Б. А., Маркова Е. В., Скорик Н. И. Исследование эффек­ тивности «свидетеля» при изготовлении тонкопленочных резисторов // Элек­ трон. техника. Сер. Ш. Микроэлектрон. — 19/2. — Вып. 3. — С. 83.

143.Макаров Г. Н. Об одном преобразовании сигнала вихретоковых преобразо­ вателей — компенсационным способом // Тез. докл. II Всесоюз. межвуз. конф. по электромагнитным методам контроля качества материалов и из­ делий. — Рига, 1975. — С. 86—89.

144.Малько И. И., Зацепин И. Н. Вихретоковый цифровой толщиномер ТЭЦА // Дефектоскопия. — 198/. — № 7. — С. 28—31.

145.Матис И. Г. Электроемкостные преобразователи для керазрушающего кон­ троля. — Рига : Зннатне, 1977. — 255 с.

146. Металлизация в вакууме / Под ред. К- Т. Кнршфельда, В. М. Козлова,

B.С. Вершинина. — Рига : Авотс, 1981. — 167 с.

147.Метфессель С. Тонкие пленки, их изготовление и измерение. — М.—Л .: Госэнергоиздат, 1963. — 272 с.

148.Митревиц Я. Я., Гаврилин В. В., Чижевский Р. П. Прибор для измерения толщины металлических покрытий. — Свидетельство на пром. образец

СССР № 19396 // Бюл. — 1986. — № 1. — i с.

149.Нанесение покрытий в вакууме / Под ред. А. В. Чолакяна. — Рига : Зинатне, 1986. — 175 с.

150.Находкин Н. Г., Зыков Г. А., Шалдерван А. Н. Физика металлических пленок. — М. : Металлургия, 1973. — 321 с.

151.Невский Ю. А., Нудельман А. С., Трубецкой А. И. Методы контроля, ис­

пользуемые в	производстве тонкопленочных и	твердых	микросхем: Обзор
по материалам	отечественной и зарубежной' печати за		1960—1965. гг. —
М., 1967. — 63	с.	ред. Р. Мак-Мастера; Пер.
152. Неразрушающие испытания : Справочник / Под

с англ. — М.—Л . : Энергия, 1965. — Кн. 1. — 504 с.; Кн. 2. — 492 с.

153.Неразрушающий контроль качества изделий электромагнитными методами Справочник / Под ред. В. Г. Герасимова, Ю. Я. Останина, А. Д. Покров­ ского и др. — М .: Энергия, 1978. — 216 с.

154. Неразрушающий контроль металлов и изделий: Справочник / Под ред.

Г.А. Самойловича. — М .: Машиностроение, 1976. — 456 с.

155.Никифорова 3. С., Леонов И. Г. Некоторые аспекты и особенности метро­ логического обеспечения средств неразрушающего контроля // Докл. 11 Белорус, респ. науч.-техн. конф. — Минск, 1978. — С. 382—383.

156.Об электромагнитных методах контроля качества изделий: Некоторые во­ просы теории и практики. — Свердловск: Сред.-Урал. кн. изд-во, 1965. — Вып. 24. — 300 с.

157.Основные направления экономического и социального развития СССР на

1986—1990 годы и на период до 2000 года. — М .: Полит, лит., 1986. —

69с.

158.Палатник Л. С., Бойко Б. Т., Синельников А. И., Конан В. Р. О струк­ туре и аномальных физических свойствах островковых конденсатов металла

на подложке из диэлектрика // Докл. АН СССР. — 1969. — Т. 189, № 5 .—

C. 996—999.

159.Пелер Т. О., Либен В. Индукционный метод измерения удельного сопро­

тивления полупроводниковых и тонких пленок II Тр. НИЭР. — 1964. —

Т.52, № 6. — С. 777—778.

160.Пленочная микроэлектроника / Под ред. Л. Холлэнда; Пер. с англ. —

М .: Мир, 1968. — 442 с.

161.Плотников В. М. Миогопараметровые методы электромагнитного контроля.— Томск, 1980. — 53 с.

162.Потапов А. И., Игнатов В, М., Александров Ю. Б. Технологический нераз­ рушающий контроль пластмасс. — Л .: Химия, 1970. — 298 с.

200	Список литературы

163.Приборы для неразрушающего контроля материалов и изделий : Справоч­ ник / Под. ред. В. В. Клюева. — М .: Машиностроение, 1986. — 488 с.

164. Применение тонких пленок для регистрации электромагнитного	излучения
в широком диапазоне спектра / Под ред. Б. М. Степанова. —	М .: Атом-
издат, 1977. — 115 с.

165.Пунько Н. Н., Конев В. А. Исследование основных соотношений радиоволновой эллипсометрии для системы тонкая металлическая пленка на диэлектрической основе // Дефектоскопия. — 1982. — № 1. — С. 49—55.

166.Розенберг Г. В. Оптика тонкослойных покрытий. — М .: Гос. изд-во физ.- мат. лит., 1958. — 570 с.

167.Рубесс 3. А., Кожан Л. П., Кадек В. М. и др. Физико-химические свой­

ства тонких металлических пленок, нанесенных на неметаллическую основу. IX. Электронно-микроскопические исследования тонких пленок алюминия // Изв. АН ЛатвССР. Сер. хим. — 1977. — № 1. — С. 33—39.

168. Рудик Т. А., Талкина И. С., Кадек В. М. и др. Физико-химические свой­ ства тонких металлических пленок, нанесенных на неметаллическую ос­ нову. XIII. Влияние режима хранения на старение алюминиевых пленок // Изв. АН ЛатвССР. Сер. хим. — 1977. — № 5. — С. 558—563.

169.Сандовский В. А. Расчет двухпараметровых отстроек в случае накладного преобразователя // Дефектоскопия. — 1975. — № 5. — С. 22—26.

170.Сергеева А. И. Критерии оценки точности измерения толщины пленок и покрытий // Измер. техника. — 1979. — № 11. — С. 25—26.

171.Скобелкин В. И., Жильцов Э. А., Пучков В. И. Электродинамика плоских тонких пленок // ФТТ. — 1969. — Т. 11, № 10. — С. 2754—2769.

172.Соболев В. С., Шкарлет К). М. Накладные и экранные датчики. — Ново­ сибирск : Наука. Сиб. отд-нне, 1967. — 144 с.

173. Стрехов В. А., Токарев Н. Д. Измерение толщины и проводимости	тон­
ких пленок в процессе их напыления // Измер. техника. — 1974. — №	4. —

С. 45—47.

174.Стрэттон Дж. А. Теория электромагнетизма : Пер. с англ. — М.—Л . : ОГИЗ, 1948. — 539 с.

175.Сухоруков В. В. Основы теории и проектирования вихретоковых дефекто­

скопов с проходными преобразователями: Автореф. дис. ... д-ра техн. наук. — М., 1979. — 38 с.

176.Сысоев С. М. Методы контроля толщины покрытий из драгоценных ме­ таллов. — М., 1979. — 25 с. — (Обзоры по электрон, технике. Сер. Уп­ равление качеством и стандартизация. — 1979. — Вып. 1(177)).

177.Технология тонких пленок: Справочник / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга; Пер. с англ. — М .: Сов. радио, 1977. — 664 с.

178.Троицкий Ю. В. Оптический резонатор с поглощающей металлической плен­

кой // Радиотехника и электрон. — 1969. — Т. 14, № 9. — С. 1641— 1648.

179. Троицкий Ю. В. Модель проводящей поверхности при изучении оптических свойств тонких проводящих пленок // Автометрия. — 1972. — № 6. —

С. 91—92.

180.Трусов Л. Н., Холменский В. А. Островковые металлические пленки. —

М.: Металлургия, 1973. — 320 с.

181.Усанов Д. А., Коротин Б. И. Устройство для измерения толщины метал­

лических пленок, нанесенных на диэлектрическую основу // ПТЭ. — 1985.

№1. — С. 254.

182.Усоскин А. И., Шкляровский И. Н., Герчиков А. С., Берлинский Ю. С.

Оптические свойства тонких пленок // Оптика и спектроскопия. — 1973. —

Т.34, № 5. — С. 954—958.

183.Фастрицкий В. С., Дерун Е. Н. О возможности отстройки от зазора с по­ мощью двух накладных преобразователей // Методы и приборы автома­ тического контроля. — Рига, 1974. — Вып. 12. — С. 3—8.

184.Фастрицкий В. С., Фшикин П. Ш. Особенности работы токовихревого пре­ образователя в неуравновешенной мостовой схеме // Неразрушающие ме­

Список литературы

201

тоды и средства контроля и их применение в промышленности. — Минск, 1973. — С. 221—226.

185.Федосенко Ю. К. Разработка теории и создание технических средств ви­ хретокового многопараметрового контроля на основе решения обратных не­ линейных многомерных задач: Автореф. дне. ... д-ра техн. наук. — М„ 1981. — 39 с.

186.Федосенко Ю. К-, Сухоруков В. В. Принципы построения вихретоковой

автоматизированной аппаратуры неразрушающего контроля с применением микро-ЭВМ И Дефектоскопия. — 1984..— № 5. — С. 45—52.

187. Физика тонких пленок / Под ред. Г. Хасса и Р. Э. Туна;	Пер.	с англ. —
М. :Мир, 1967. — Т. 2. — 396 с.; 1970. — Т. 4. — 440 с.;	1974.	— Т. 6 ,—
392^ с.

188.Цейтлин Я. М., Бржезинский В. М., Тречухина Г. Б. и др. Имитационные меры толщины особо тонких покрытий и средства их поверки // Измер. тех­ ника. — 1982. — № 7. — С. 27—29.

189. Черилев В. Н., Тугин В. А.	Активный СВЧ-контроль сопротивления тон­
ких металлических пленок //	Приборы и системы упр. — 1972. — № 9. —

С. 55—56.

190.Чопра К. Л. Электрические явления в тонких пленках: Пер. с англ. — М .: Мир, 1972. — 435 с.

191.Шатерников В. Е. Электромагнитные методы и средства контроля изделий

сложной формы : Автореф. дис. ... д-ра техн. наук. — Куйбышев, 1976. —

41 с.

192.Шатерников В. Е., Алексеев А. П. Электромагнитные средства автоматичес­ кого контроля движущихся коротких цилиндрических изделий // Дефекто­ скопия. — 1987. — № 5.. — С. 31—37.

193.Шатерников В. Е., Михайлов В. И., Лазарев С. Ф. Контроль электропро­ водящих объектов сканирующими вихретоковыми средствами // Дефекто­ скопия. — 1987. — № 6. — С. 48—53.

194.Шкарлет Ю. М. Вопросы общей теории и практического применения элек­ тромагнитно-акустического и электромагнитных методов неразрушающего контроля : Автореф. дис. .. . д-ра техн. наук. — Свердловск, 1974. — 38 с.

195.Шкарлет Ю. М., Шмалев В. П. Электромагнитное поле витка с током над проводящим слоем // ЖТФ. — 1964. — Т. 34, вып. 1. — С. 131—141.

196.Шилло В. Л. Линейные интегральные схемы в радиоэлектронной аппара­ туре. — М .: Сов. радио, 1974. — 312 с.

197.Шкляровский И. Н. Приближенные формулы для коэффициентов отра­

жения и пропускания тонких пленок // Оптика и спектроскопия. — 1969. —

Т.27, № 4. — С. 654—660.

198.Шкляровский Н. Н., Корнеева Т. И., Зозуля К. Н. Эффективные оптичес­ кие постоянные тонких гранулированных пленок серебра // Оптика и спек­ троскопия. — 1969. — Т. 27, № 2. — С. 332—336.

199.Шумиловский Н. Н., Ярмольчук Г. Г., Трибовецкий В. П. Метод вихре­ вых токов. — М.—Л . : Энергия, 1966. — 176 с.

200.Abeles F. Optical properties of metals // Optical Properties of Solids, Ams­ terdam etc., 1972. — P. 93—162.

201.Lamav A., Walker W. F., Siarkiewicz Kenneth R. An investigation of the electromagnetic properties of advanced composite materials // IEEE Intern,

symp., electromagn. comput., Washington, D. C., 1976. — New York, 1976. —

P. 174— 178.

202.Angadi M. A., Udachan L. A. The frequency response of the effective resis­

tance of	thin chromium and thin films // j" Math. Sci. Letters. — 1985. —
Vol. 4, N	10. — P.1213— 1216.

203. Auchtertonic L. Ahmed /. Y. Microwave wideband open resonator of large aperture // J. Phys. E. Sci. Instruments. — 1977. — Vol. 10, N 7. — P. 691—694.